三愛プラントの精密洗浄/Super Micro Cleaning _ SMC

三愛プラントの精密洗浄/Super Micro Cleaning _ SMC

半導体やFPD製造装置、電子顕微鏡や電子分光装置、放射光施設など…。最先端技術・科学分野では超高〜極高真空環境が求められるようになってきました。このような極限環境を作り出すには、真空ポンプだけでなく、装置自体を最高の清浄度にする必要があります。
三愛プラントの精密洗浄(SMC)は、材種ごとに最適な工程(化学処理・物理処理)とふんだんに使用する純水により、金属からセラミックス・樹脂など様々な部材を最高に“きれいに”いたします。洗浄後の製品はクリーンルーム内で最終検査・包装。お客様のお手元まで、清浄性を保持いたします。

精密洗浄(SMC)で除去できる“汚れ”

有機性汚れ 油分(切削油・加工油)
無機性汚れ 金属塩・重金属
粒子状汚れ 金属粉・大気中のパーティクル

ところが…精密洗浄(SMC)では除去できない“汚れ”があります。

精密洗浄(SMC)で除去できない”汚れ”

化学的結合による汚れ 酸化スケール
構造的付着による汚れ 加工時の切粉・研磨砥粒
表面近傍の不純物・異物等 表面変質層・不純物

例えば、バフ研磨されたステンレス鋼表面を見てみると…、目視では光沢面ですが拡大すると研磨痕や残留砥粒が存在していることがわかります。このような状態は、表面積の増大や汚染源となり、装置や製品の性能に大きく影響します。

研磨面拡大写真
400バフ研磨面 (SUS)
目視では光沢面でも、拡大してみると全面に研磨痕が存在しています。
400バフ研磨面 (SUS)
さらに拡大すると、残留砥粒やバリがあることがわかります。
じゃあ、どうやって除去してより“きれい”にできるのでしょう? 電解研磨や化学研磨などの湿式研磨が最適です 電解研磨・化学研磨と精密洗浄(SMC)を組合せて、最高の真空特性を達成します
 
 
 

精密洗浄(SMC)処理実績材種

ステンレス セラミックス類 インコネル
アルミ/アルミ合金 インバー タンタル
銅/銅合金 モリブデン 石英
チタン/チタン合金 べスペル ハステロイ
樹脂類 パーマロイ ニッケル等

その他、きれいにしたいものがありましたら何でもご相談ください。
材質に合わせた洗浄工程をご提案いたします。

 
 
 

三愛プラントの基本処理工程

処理工程図
  • 写真
    洗浄待ちの大型チャンバー
  • 写真
    10tクラスチャンバーの搬入
  • 写真
    洗浄ヤードへの搬入テスト
 
 
 
お電話でのお問合せはこちら
0438-52-3313 クリーンテック事業本部
WEBからのお問合せはこちら
お問合せはこちら