再生精密洗浄/Renewal Micro Cleaning _ RMC

再生精密洗浄/Renewal Micro Cleaning _ RMC

 CVDやPVDなどの製膜装置では、チャンバーに被膜が堆積すると除去することが困難となります。真空に対しても悪影響を及ぼしますし、製品への汚染源となる可能性があります。そのため、チャンバー自体に被膜が堆積しないように防着板(シールド)を取付けます。しかし、蒸着を繰り返すことでシールドに付着した被膜が応力により剥離し、パーティクルの発生源になってしまいます。そのため、一定期間の使用後、防着板を交換しなければなりません。
新たに作製するとコストや納期の問題が出てきます。三愛プラントの再生精密洗浄(RMC)は、防着板などに付着した被膜を豊富な経験に基づいた処理により母材への負荷を最小限にして剥離し精密洗浄(SMC)を施します。また、剥離後に電解研磨や化学研磨などの表面処理も適用できます。
防着板のみならず、ガス供給ライン等の設備を廃棄する際の無害化処理も可能です。
再生精密洗浄は、付着物と母材の組合せにより使用薬液(酸・混酸・アルカリ等)やブラスト等の物理処理が異なってきます。付着物と母材の情報をいただければ、最適な処理方法を提案させていただきます。

 
 
 

RMC処理実績

付着物 金属,金属酸化物,金属窒化物,半金属,半導体,フッ化物,シラン系物質等
母材 ステンレス,アルミ,チタン,モリブデン,タングステン,タンタル,石英,
樹脂,セラミックス等
 
 
 

処理例

アルミ製部品
ステンレス製チャンバー
アルミナ製部品
排気管
バルブ
セラミックス製部品
 
 
 

ポリマー付着金属フィルター等再生洗浄

HYPOX
HYPOXは、イタリア ムーブエンジニアリング社が開発した付着ポリマー除去装置です。加水分解反応を利用した洗浄法で、薬剤を一切使用すること無く、フィルム等の高分子製品製造工程で部品に付着したポリマーを、製品を傷めること無く除去することが可能な装置です。

 
 
 
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