三愛プラントの特徴 〜真空向製品の精密洗浄,表面処理から鉄鋼製配管の除錆・防錆、現地洗浄工事まで〜様々な洗浄を請け負います!!

精密洗浄 〜金属からセラミック、樹脂まで〜

半導体、有機EL、液晶パネル製造装置や超高真空(UHV)〜極高真空(XHV)環境を必要とする実験装置では、単純に真空環境を作り出せばいいというわけではありません。汚染源が無い、パーティクルが無い、チャンバー内壁からのガス放出が少ないといった“質の高い真空”が必要です。そのためには、装置部材が清浄であることが必須です。
三愛プラントでは材種によって最適な洗浄方法で清浄性を達成します。表面処理(化学研磨電解研磨)を組合せることで、より高品質な真空環境の達成を可能とします。
 材種に最適な脱脂・洗浄処理を行い純水洗浄後、クラス1000クリーンルーム内で露点管理された窒素でブロー・包装し、お客様の元にお届けいたします。

クラス1000 クリーンルーム クラス1000 クリーンルーム 純水製造装置と純水タンク 純水製造装置と純水タンク
 
 
 

表面処理(化学研磨・電解研磨)

三愛プラント独自の化学研磨,電解研磨。様々な金属に最適の薬液を開発。表面粗度低減による表面積の減少や酸化皮膜を形成し、精密洗浄(SMC)と組合せることで最高の真空特性を達成します。詳しい適用材種などは化学研磨,電解研磨のページをご覧ください。

 
 
 

精密再生洗浄 〜製膜装置の付着物除去〜

精密再生洗浄(RMC)は、長年の経験と薬液に対する知識から様々な付着物を除去。部材の再使用を可能にします。また、汚染された部品を廃棄する際の無害化も請負います。詳しい内容や実績は精密再生洗浄(RMC)のページをご覧ください。

 
 
 

除錆・防錆・酸洗浄 〜発電所向け配管類処理〜

日本最大級の洗浄槽を駆使し、多種多様な化学洗浄に対応します。
表面処理剤には、毒性が無く除錆とリン酸鉄皮膜化成が同時に行える「アポリーA400」を使用しています。廃液の発生量を大幅に抑えることができ、環境保全に貢献します。

写真
 
 
 

出張洗浄工事 〜工場タンク・災害被災設備の現地洗浄〜

近年、自然災害に見舞われることの多い日本。津波や土砂災害で被害を受けた発電所の洗浄工事を行いました。その他、工場の配管ラインやタンクの洗浄もお任せください。
詳しい内容や実績は出張洗浄工事(CIP)のページをご覧ください。

写真 純水製造装置と純水タンク
 
 
 
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