半導体、有機EL、液晶パネル製造装置や超高真空（UHV）〜極高真空（XHV）環境を必要とする実験装置では、単純に真空環境を作り出せばいいというわけではありません。汚染源が無い、パーティクルが無い、チャンバー内壁からのガス放出が少ないといった“質の高い真空”が必要です。そのためには、装置部材が清浄であることが必須です。
三愛プラントでは材種によって最適な洗浄方法で清浄性を達成します。表面処理（化学研磨・電解研磨）を組合せることで、より高品質な真空環境の達成を可能とします。
　材種に最適な脱脂・洗浄処理を行い純水洗浄後、クラス1000クリーンルーム内で露点管理された窒素でブロー・包装し、お客様の元にお届けいたします。

詳しくは、精密洗浄（SMC）をご覧ください。

日本最大級の洗浄槽を駆使し、多種多様な化学洗浄に対応します。
表面処理剤には、毒性が無く除錆とリン酸鉄皮膜化成が同時に行える「アポリーA400」を使用しています。廃液の発生量を大幅に抑えることができ、環境保全に貢献します。

近年、自然災害に見舞われることの多い日本。津波や土砂災害で被害を受けた発電所の洗浄工事を行いました。その他、工場の配管ラインやタンクの洗浄もお任せください。
詳しい内容や実績は出張洗浄工事（CIP）のページをご覧ください。

詳しくは、出張洗浄工事（CIP）をご覧ください。