電解研磨/Electro-Polishing _ EP

電解研磨/Electro-Polishing _ EP

電解液中で処理物に直流電流を流し、表面を溶出。精密洗浄(SMC)では除去できない汚れ(酸化スケールや表面に突き刺さった切削屑,研磨砥粒)が除去できます。さらに、表面を滑らかにし、“真の表面積”を低減させるとともに均一な酸化皮膜(不動態皮膜)を形成し、内部溶存気体の放出を防ぐとともに耐食性を向上させます。
もちろん処理後の洗浄は精密洗浄(SMC)。最高の清浄度で製品をお届けします。

 
 
 

特徴

  1. 1.平滑化,酸化皮膜の形成
  2. 2.真空特性の向上

平滑化による表面積の低減(ガス放出確率の低減)

酸化被膜形成による低ガス放出化

電解研磨の進行による表面の変化

 
 
 

適用材種

ステンレス鋼 SUS304(L),SUS316(L),SUS303,SUS310,SCS13,SCS14
その他金属 モリブデン,タングステン,インコネル600,ハステロイ C-22
 
 
 

電解研磨(EP)適用事例

ステンレス製チャンバー

タングステン製部品

CVDガス供給ライン用配管(EP管)

三愛プラントのEP管は世界トップクラスの品質です。

呼び径 外径 /mm 全長 /mm
1/8” 3.18 2000
1/4” 6.35 4000
3/8” 9.53
1/2” 12.7
5/8” 15.88
3/4” 19.05
1” 25.4
6A 10.5
8A 13.8
10A 17.3
15A 21.7
20A 27.2
25A 34.0
32A 42.7
45A 48.6
50A 60.5
22.23
31.8
38.1
50.8

EP管検査項目(例)

  検査 合格基準 備考
管内目視 管内にキズ・汚れなきこと
表面粗さ測定 Ryが規定値以内 縦倍率 ×2000,×20000
油分測定 0.1 mg/ft2以下
パーティクルカウント 0.1 μm粒子 1個以下/ft3 1 ft3中の粒子数にて規定値を示す
測定可能粒子径:0.3, 0.5, 1, 2, 5 μm
1 μmの場合、0.1 ft3 中の粒子数にて測定値を示す
溶出イオンチェック
液抵抗測定
液抵抗が1 MΩ・cm
以上のこと
超純水の液抵抗値を記録
(Ⅵ) 溶出イオンチェック
封水-イオンクロマト分析
各イオンが規定値
以下のこと
封水前後の純水の液クロマト分析
K+, Na+, Mg2+, Ca2+, Cl-, NO3-, SO42-, PO43-等の溶出イオン定量チェック

電解研磨後のパイプと粗さ曲線

クリーンルーム内での最終検査。
蛍光灯パネルで内面を照らしながら
専任の検査員が全数検査します。

CVDガス供給ライン用継手

 
 
 
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