化学研磨の複雑形状品への適用性を十分に発揮する、ステンレス専用化学研磨:サスピカ/SUSpika®。(株)アルバック殿との共同研究により、電解研磨面と同等の表面状態・真空特性を可能にします。フレキシブルチューブなどにも適用可能です。

適用材種 | SUS304(L),SUS316(L) |
---|---|
標準研磨しろ | 5〜10 μm |
処理可能サイズ | 最大長 700 mm |
-
サスピカ/SUSpika®処理面(SUS304) -
電解研磨処理面(SUS304)
電解研磨と同等の表面が得られています。

単位面積当たりのガス放出速度
(SUS304)
電解研磨を施したサンプルと同等の
ガス放出速度を達成!
ベーキングをすることでガス放出速度、
〜10-10 Pa・m・s-1まで低減可能です。
オリフィスコンダクタンス:6 × 10-3 m3・s-1
資料提供 株式会社アルバック
SUS304 フレキシブルチューブ内面
チューブ処理後、半分割して内面を比較しています。光沢面が得られています。
重力波望遠鏡「かぐら」
我が国最大の巨大真空装置となる、重力波望遠鏡「かぐら」。その真空ダクト間に挿入される大型ベローズの表面処理に、サスピカ + SMCが採用されました。
詳しくは、三愛プラント実績紹介をご覧ください。