ステンレス専用化学研磨:サスピカ/SUSpika 耐食・低ガス放出性が達成される当社ならではの高品質研磨処理技術です

ステンレス専用化学研磨:サスピカ/SUSpika

化学研磨の複雑形状品への適用性を十分に発揮する、ステンレス専用化学研磨:サスピカ/SUSpika®。(株)アルバック殿との共同研究により、電解研磨面と同等の表面状態・真空特性を可能にします。フレキシブルチューブなどにも適用可能です。

 
 
 

処理概要

適用材種 SUS304(L),SUS316(L)
標準研磨しろ 5〜10 μm
処理可能サイズ 最大長 700 mm
 
 
 

電解研磨との比較


  • サスピカ/SUSpika®処理面(SUS304)

  • 電解研磨処理面(SUS304)

電解研磨と同等の表面が得られています。

単位面積当たりのガス放出速度
(SUS304)


電解研磨を施したサンプルと同等の
ガス放出速度を達成!

ベーキングをすることでガス放出速度、
〜10-10 Pa・m・s-1まで低減可能です。

オリフィスコンダクタンス:6 × 10-3 m3・s-1
資料提供 株式会社アルバック
 
 
 

処理例

SUS304 フレキシブルチューブ内面

チューブ処理後、半分割して内面を比較しています。光沢面が得られています。
 
 
 

サスピカ/SUSpika  適用事例

重力波望遠鏡「かぐら」

我が国最大の巨大真空装置となる、重力波望遠鏡「かぐら」。その真空ダクト間に挿入される大型ベローズの表面処理に、サスピカ + SMCが採用されました。

 
 
 
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