化学研磨の複雑形状品への適用性を十分に発揮する、ステンレス専用化学研磨：サスピカ／SUSpika®。（株）アルバック殿との共同研究により、電解研磨面と同等の表面状態・真空特性を可能にします。フレキシブルチューブなどにも適用可能です。
| 適用材種 | SUS304（L），SUS316（L） |
|---|---|
| 標準研磨しろ | ５〜10 μm |
| 処理可能サイズ | 最大長 700 mm |
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サスピカ/SUSpika®処理面（SUS304） -
電解研磨処理面（SUS304）
電解研磨と同等の表面が得られています。
単位面積当たりのガス放出速度
（SUS304）
電解研磨を施したサンプルと同等の
ガス放出速度を達成！
ベーキングをすることでガス放出速度、
〜10-10 Pa・m・s-1まで低減可能です。
オリフィスコンダクタンス：6 × 10-3 m3・s-1
資料提供 株式会社アルバック
SUS304 フレキシブルチューブ内面
チューブ処理後、半分割して内面を比較しています。光沢面が得られています。
重力波望遠鏡「かぐら」
我が国最大の巨大真空装置となる、重力波望遠鏡「かぐら」。その真空ダクト間に挿入される大型ベローズの表面処理に、サスピカ + SMCが採用されました。
詳しくは、三愛プラント実績紹介をご覧ください。
