アルミ・アルミ合金専用化学研磨:アルピカ/ALpika 低ガス放出性が達成される当社ならではの高品質化学研磨処理です

アルミ・アルミ合金専用化学研磨:アルピカ/ALpika

FPDの大型化に伴う製造装置の大型化。軽量化のためアルミ製チャンバーの使用が拡大しています。(株)アルバック殿との共同研究によりアルミへの電解研磨処理では高い真空特性が得られないことが判明しました。そこで開発されたのがアルピカ/ALpika®。
平滑化による表面積の低減と緻密な酸化被膜による低ガス放出特性を達成しています。

 
 
 

処理概要

適用材種 A1050,A5052,A5056,A5083,A6063,A6061,A2017
標準研磨しろ 5〜10 μm
処理可能サイズ 最大長 1300 mm
 
 
 

電解研磨との比較


  • アルミ合金/化学研磨前 (×300)

  •   アルミ合金/化学研磨後 (×300)
単位面積当たりのガス放出速度
(A5052)


電解研磨を施したサンプルと比較して、
1桁以上小さいガス放出速度を達成!

ベーキングをすることでガス放出速度、
~10-10 Pa・m・s-1まで低減可能です。

オリフィスコンダクタンス:6 × 10-3 m3・s-1
資料提供 株式会社アルバック

アルピカ/ALpika後の
断面TEM像(A5052)
アルピカ/ALpika®処理後、表面は均一・緻密な酸化被膜が形成されます。これにより溶存気体の放出が抑制されます。 資料提供 株式会社アルバック

 
 
 

処理例

微小バリの除去

φ200 μm 微細穴加工で発生したバリの除去
 
 
 

アルピカ適用事例

FPD・半導体製造装置

アルピカ処理後、クリーンルームで最終検査中のチャンバー
 
 
 
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