アルミ合金低ガス放出耐食処理:スーパーアルピカ/Super ALpika

アルミ合金低ガス放出耐食処理:スーパーアルピカ/Super ALpika

半導体・FPD製造装置にはアルミニウム合金が多用されています。製造プロセスで反応性ガスや腐食性ガスが使用されることも多く、アルミニウム合金をそのまま使用すると装置内壁や部品表面とガスやプラズマ、ラジカルが反応しプロセスの不安定化や装置の劣化が起こる可能性があります。三愛プラント工業は(株)アルバックと共同で従来のアルマイト処理に比べ格段にガス放出の少ないバリア型酸化・耐食処理、スーパーアルピカ/Super ALpika®を開発しました。

 
 
 

処理概要

適用材種 純アルミ、A5052、A6061、A6063
膜厚 0.2〜0.4 μm
処理可能サイズ 500 × 500 × 500 mm(即応可能サイズ)
 
 
 

特長

バリア型酸化被膜 スーパーアルピカ/Super ALpika®はバリア型アノード酸化処理で、アルマイト処理と異なり、ポーラス(多孔質)被膜ではありません。そのため、酸化被膜は緻密で表面積が小さく、低ガス放出を達成しています。
耐熱性 大気中で500℃に加熱しても、被膜特性(ヒビ、変色、耐食性)に変化がありません。
低ガス放出 一般的なアルマイト処理に比べ、ガス放出量が100〜1000分の1となります(真空中300℃加熱時)。
 
 
 

用途

CVD・エッチング・アッシング装置、酸化処理装置電極板、防着部品等。

 
 
 

電解研磨との比較

500 ℃,24 h加熱後の表面状態

  • スーパーアルピカ
  • 硫酸アルマイト

300 ℃加熱時の総ガス放出量

資料提供 株式会社アルバック

 
 
 
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